PA-6G六维惯性电机组台
特点：
小尺寸，高精度
使用场所：
光纤对准，小空间多自由度调整，光学腔室，真空环境。
产品参数：
型号 | X轴 | Y轴 | Z轴 | θX | θY | θZ |
行程 | 25mm | 25mm | 20mm | ±5° | ±2° | ±5° |
直线度 | ±3.5μm | ±3.5μm | / | / | / | |
偏摆 | ±40″ | ±40″ | / | |||
俯仰 | ±20″ | ±20″ | ||||
摆动 | / | / | ±10″ | ±10″ | ±10″ | |
偏心率 | ±5μm | ±5μm | ±5μm | |||
分辨率 | 18nm | 18nm | 0.001° | 0.001° | 0.2″ | |
闭环重复定位精度 | ±100nm | ±100nm | ±150nm | ±0.005° | ±0.005° | ±1″ |
开环Zui小步进量 | 10nm | 10nm | ±0.1″ | |||
闭环Zui小步进量 | 200nm | 200nm | 0.005° | 0.005° | ±0.4″ | |
端跳 | ||||||
Zui大速度 | 2mm/s | 2mm/s | 15°/s | 3°/s | 3°/s | |
Zui大负载 | 1kg | 1kg | 1kg | 0.5kg | 0.5kg | |
驱动方式 | 惯性电机 | 惯性电机 | 惯性电机 | 惯性电机 | 惯性电机 |
