三英精控(天津)仪器设备有限公司是一家专注于精密运动控制技术和产品的开发,并致力于为科学研究、创新研发及精密仪器、设备的制造等提供系统的技术解决方案与集成,满足市场对精密运动控制技术需求的专业制造商。
公司核心技术集精密传感、精密驱动、精密机械、精密控制、精密集成等各领域的技术于一体,综合技术指标已达到先进水平。
主要产品:纳米级运动平台系列;微米级宏动系列;纳米位移电容传感器系列;宏微运动集成系统
纳米定位平台
纳米运动控制技术是由光、机、电、控制软件等多领域技术集成的运动控制技术。内部由一个或多个压电陶瓷作为驱动,其产生单轴或者多轴的运动;通过柔性铰链技术将压电陶瓷产生的运动传递和放大;经超精密电容传感器将运动信息传递给控制系统,再由控制系统对该运动进行修正、补偿和控制;在对运动系统进行闭环控制时,可实现纳米、亚纳米级别的运动分辨率和运动控制精度。
三英精控纳米台特点
平:得益于独特的硬件设计,有效地减少三维偶联影响,保证纳米台全行程的平整度。
准:电容传感器的应用及先进的控制模式和算法,保证纳米台的运动精度。
稳:优异的机械结构设计以及优良的电容传感器特性,保证了纳米台长时间的稳定性。
NS-X700-01超大行程X轴纳米定位台
典型应用:
显微成像
光学对准
光栅刻写
半导体加工
生物材料分析
技术参数
型号 | NS-X700-01 |
运动轴 | X |
传感器类型 | 电容式 |
闭环行程( μm ) | 700 |
闭环分辨率( nm ) | 5 |
线性度( % ) | 0.3 |
无负载下谐振频率(Hz ) | 120 |
端口 | D-sub15 |
材料 | 铝合金 |
Zui大负载( kg ) | 0.8 |
尺寸( mm ) | 77 x 40 x 31 |
自重( kg ) | 0.18 |
适配控制器 | SC100-A/SC300-1/SC400-1 |
注:闭环分辨率与带宽有关。
如有客户需求,三英精控可以对纳米位移运动控制系统进行量身定制,以提供及时、满意的技术支持与服务。