电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器,具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨特点外,电容位移传感器报价,还具有信噪比大,灵敏度高,零漂小,频响宽,电容位移传感器,非线性小,精度稳定性好,抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。
电容的两极分别是传感器和与之相对的被测物体。如果有稳定交流电通过传感器,输出交流电的电压会与传感器到被测物体之间的距离成正比关系,从而可以通过测量电压的变化得到距离信息。
电容位移传感器主要特点:能测量室内侧和室外侧的部分、车轮的位移、安全气囊的起动,在控制变速箱和液压系统工作的条件下完成起动、运动及停止等操作。适用范围:液压油管、制动油管、液压箱、液压片和立式、蹲式、动力罩、充油孔、流量计、分速阀及气缸(含冷却液)等和车轮和缸和坐位显示系统(兼备高测量安全装置)的使用。
随着微机电技术的发展,电容位移传感器原理,如今的电容式加速度传感器都普遍采用的MEMS技术制造。下图显示了一种MEMS变电容式加速度传感器的结构,它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电极,中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心质量块的形状,薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。另外,在薄膜上还有刻蚀出的小孔,电容位移传感器品牌,当薄膜随质量块运动时,空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。由于采用MEMS技术得到了这种一体化的结构,它的可靠性是相当高的。
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