当后向散射电子作为调制信号时，由于其能量高、穿透性强，可以从样品较深的区域逃逸(约为有效效应的30%深度).在深度范围内，工业电子显微镜生产，入射电子横向扩展，背散射电子像的分辨率比二次电子像的分辨率低，一般在500-2000nm左右.如果将吸收电子、x射线、阴极发光、束流诱导电导或电位作为调制信号的其他工作模式，由于信号来自整个电子束散射区，获得的扫描图像的分辨率相对较低，工业电子显微镜厂家，一般在1000纳米或10000纳米以上之间.
离子溅射镀膜:高能离子或者中性原子撞击某个靶材表面，把动量释
离子溅射镀膜：高能离子或者中性原子撞击某个靶材表面，把动量释放给几个纳米范围内的原子，碰撞时某些靶材原子得到足够的能量断开与周围原子的结合健，并且被移位。如果撞击原子的力量足够，河南工业电子显微镜，就能把表面原子溅射出靶材。
一般用钨丝篮作为电阻加热装置，把小于1毫米以下的金属丝缠绕在在其表面。就像在白炽灯灯丝上，或者电炉的加热丝上加上需要蒸发的金属；也有用加热坩埚，蒸发金属粉末。
对微区成分分析而言，分辨率指能分析的小区域；对成像而言，它是指能分辨两点间的小距离。SEM分辨率主要受三方面影响：入射电子束束斑直径、入射电子束在样品中的扩展效应、成像方式及所用的调制信号。二次电子像的分辨率约为5-10nm，背散射电子像的分辨率约为50-200nm。一般来说SEM分辨率指的是二次电子像的分辨率。
放大倍数：M =L/I，其中L是显像管尺寸，I是光栅扫描时相邻两点间距。M通过调节扫描线圈电流进行，电流小则电子束偏转角度小，放大倍数增大。放大倍率不是越大越好，要根据有效放大倍率和分析样品的需要进行选择，与分辨率保持一定关系。
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